ЦКП МФТИ

Центр коллективного пользования уникальным научным оборудованием в области нанотехнологий (ЦКП МФТИ) является структурным подразделением Федерального государственного образовательного учреждения высшего образования...

Показать полностью

УСЛУГИ

Микроанализ

  • Измерение геометрических параметров наноструктур и нанообъектов (ПЭМ, РЭМ, АСМ). Возможность измерения параметров диэлектрических образцов (РЭМ) в вакууме до 1 Торр.
  • Исследование спектров катодолюминесценции в диапазоне длин волн от 300 нм до 1000 нм (Gatan)
  • Рентгенофазовый и рентгеноструктурный анализ порошков и тонких плёнок (рентгеновская дифракция).
  • Исследование и модификация электрических (проводимость, емкостная микроскопия) и магнитных свойств объектов методами сканирующей зондовой микроскопии.
  • Исследование электрофизических характеристик структур и объектов (в том числе в СВЧ диапазоне).
  • Определение локального элементного состава с помощью систем энергодисперсионного и волнового рентгеновского микроанализа (EDAX).
  • Определение фазовой структуры поликристаллов методом дифракции обратно-рассеянных электронов.
  • Электронная литография с предельным разрешением до 10 нм.
Оплата микрогрантом

Функциональные покрытия

  • Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков от 1 нм до 1 мкм (магнетронное и электронно-лучевое напыление, атомно-слоевое осаждение).
  • Исследование рельефа и физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии (АСМ, СТМ).
  • Определение толщин тонких плёнок.
Оплата микрогрантом

Оборудование

  • Просвечивающий электронный микроскоп JEOLJEM-2100
  • Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JEOL JSM-7001F.
  • Растровый электронный микроскоп FEI Quanta 200.
  • Рентгеновский дифрактометр Thermo ARL X’TRA.
  • Сканирующий зондовый микроскоп NT- MDT Ntegra Prima.
  • Установка электронно-лучевой литографии Crestec CABL-9000C.
  • Вакуумная напылительная установка MagSput-DC-RF.
  • Установка атомно-слоевого осаждения Picosun R200 Advance.
  • Установка химико-механической полировки BT 370.
  • Установка импульсного лазерного напыления IVO-205-0.3-15
  • Cпектрофотометр HR 4000 Ocean Optics.
  • Принтер Dimatix Materials Printer DMP-2831.
  • Развернуть

Просвечивающий электронный микроскоп JEOLJEM-2100

Контакты

Тодуа Павел Андреевич

Руководитель ЦКП

Долгопрудный

ул. Первомайская, д. 5